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    產品概覽 技術規格 資料下載 行業應用

    可在短時間內提高產線產量


    除了標準型之外,還有可同時測量大型樣品和多個樣品的長行程寬體產品。



    通過將電子掃描方式的ES5100系列組合到以高分辨率和操作性受到好評的FineSAT中,追加了高速檢查功能的混合型裝置。
    以前,為了調查在高速檢查中發現的異常的詳情,需要把被檢體轉移到其他裝置重新測量,但在FineSAT Hybrid上,不用進行轉移被檢體的作業,用1臺設備就可進行異常解析。
    特點:
    ■ 雙測頭
    可以同時安裝高精細測定的單焦點探頭和高速測定的電子掃描方式的陣列探頭。
    單焦點探頭/陣列探頭的切換可以通過鼠標操作在探頭選擇畫面上切換。


    單焦點探頭(左)和陣列探頭(右)同時安裝的事例

    ■ 高速
    與使用單焦點測頭相比,使用陣列探頭能以約3~10倍(*)的速度顯示圖像。

    (*:本公司比較,根據測定條件)


    ■ 組合
    請在購買前從25、50、75MHz中選定陣列探頭。單焦點探頭根據機型不同,可以使用5~300MHz的探頭。
    通過陣列探頭進行高速測定后,通過用單探頭測定擔心的部分、用高精細的圖像進行解析評價等方法提高業務的效率。
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